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Article電容位移傳感器靜態(tài),動態(tài)和在線測量
更新時間：2017-12-13 點擊次數(shù)：2556次
電容位移傳感器靜態(tài),動態(tài)和在線測量
電容位移傳感器既能測量頻率從0--7.5KHz的機械振動位移,又可測量小至0.00２微米的機械位移和零件尺寸.測量是非接觸的,故特別適合一般儀器不能勝任的旋轉(zhuǎn)軸式或不受力的小型.線型.薄壁或怕劃傷的精密零部件的靜態(tài),動態(tài)和在線測量。
電容位移傳感器用于測量固定部件(定子)與轉(zhuǎn)動部件(轉(zhuǎn)子)之間的旋轉(zhuǎn)角度，因其具有結(jié)構(gòu)簡單，測量精度高，靈敏度高，適合動態(tài)測量等特點，而被廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動控制、汽車、航天及軍事等角度定位監(jiān)測領(lǐng)域，一般來說，電容式角位移傳感器由一組或若干組扇形固定極板和轉(zhuǎn)動極板組成，為保證傳感器的精度和靈敏度，同時避免因環(huán)境溫度等因素的改變導致介電常數(shù)、極板形狀等的間接變化，進而對傳感器性能產(chǎn)生不利影響，對傳感器的制作材料、加工工藝以及安裝精度提出了較高要求，為了克服電容角位移傳感器的局限性
電容位移傳感器主要應(yīng)用領(lǐng)域：壓電微位移、薄膜厚度檢測、振動臺，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測量等。
電容位移傳感器測量原理
電容位移傳感器程控激勵模式
由于轉(zhuǎn)動極板在發(fā)射極板和接收極板之間旋轉(zhuǎn)，因此發(fā)射極板與接收極板所組成的4個電容隨轉(zhuǎn)動極板旋轉(zhuǎn)而變化，當一定模式的激勵施加在發(fā)射極板上時，這4個電容在接收極板上所產(chǎn)生的感應(yīng)電荷也不同。
針對圖1敏感元件結(jié)構(gòu)，本文給出比例式測量所需的激勵模式時序，如表1所示，表中C1、C2、C3、C4表示四對電容極板，P1、P2、P3、P4為4種激勵模式，表示不同時刻對分瓣電容極板施加不同的激勵，T1+T2為一個激勵周期，本研究中，由程序根據(jù)電荷檢測電路充放電時間常數(shù)、A/D轉(zhuǎn)換時間和采樣信號的穩(wěn)定性判據(jù)，自動控制4種模式的周期長度，故又可稱為程控激勵模式，當被選中單元施加激勵后，即T1開始，產(chǎn)生的感生電荷流入電荷檢測電路，當充放電時間常數(shù)一定時，電荷檢測電路上的輸出電壓穩(wěn)定，硬件濾波后，立即啟動A/D進行采樣(即氏D時刻開始采樣)，為提高精度，采樣次數(shù)提高為n次，當n次AD采樣結(jié)束時，送入濾波單元*定咒次采樣信號的穩(wěn)定性，若滿足*定指標要求，則通過單片機程序控制I/O單元，強迫中止對被測電容的選通，同時使被測電容發(fā)射極板上的激勵中斷，并強制拉回低電平，T1結(jié)束;而在T2時間內(nèi)，激勵信號均為低電平，以降低功耗，設(shè)在瞬間激勵序列內(nèi)，轉(zhuǎn)動極板靜止且激勵電壓為常量U0或0，則在P1～P4模式下激勵，接收極板上產(chǎn)生的感應(yīng)電荷分別為s、s-、c、c-以這種程控激勵模式的設(shè)計與原比例式電容角位移傳感器中的激勵模式相比，不僅充分節(jié)約了時間，提高了采樣精度，而且有效地降低了傳感器功耗。
